1.1仪器组成

进样系统： 不锈钢或者石英玻璃毛细管以及对应的过滤膜组成，采用二级降压，毛细管外面 配加热套，加热温度从常温到200℃。

真空系统： 涡轮分子泵以及无油隔膜干泵，配套全量程真空计，控制和监测质谱室的压力， 保证质谱仪的正常运行，质谱室材料为不锈钢，外配加热套，最大可烘烤温度可达200℃,可 定期烘烤除气，质谱室加热套以及进样管加热套由两个独立的温控仪控制。

四级杆系统： 电子轰击离子源，四级杆质量分离器以及检测器组成。

1.2技术参数

质量数范围：1-300amu

质量分析器：四级杆

检测器：Faraday(SEM  可选)

检测限： Faraday:4      X10¹mbar

检测限： SEM:3X10~l5 mbar

离子源：开放式离子源，含2根灯丝

测量通道：128 pieces

通讯接口： Ethernet                      

扫描时间：1ms-16s/amu                        

10%峰高分辨率：0.5-2.5amu

进样压力：常压进样(其他压力可选)                    

1.3质谱仪性能特点

◆  可控温的进气管路，有效防止进样气体在进样过程中冷凝；

◆ 可烘烤的质谱室，有效降低背景气体的干扰；

◆多路输入输出信号，可跟外部仪器实现自动化控制；

◆ 自带的灯丝压力保护设置，延长灯丝使用寿命；

◆毫秒量级的响应时间，毫秒量级的扫描速度，实现快速在线分析；

◆ 法拉第杯/电子倍增器双检测器，灵敏度高，实现从100%到ppb 的宽范围检测；

◆专业的分析软件，多组分采样，实现气体的定性和定量分析；

◆  可定制化的进样系统，根据需求实现进样气体前处理和多通道采样检测； 1.4提供仪器的全套分析软件及资料。